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半導体材料ガス検知器 XP-703D

半導体材料ガス(アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素など)の超微量もれ検知に最適

半導体材料ガス検知器 XP-703Dの格安販売
半導体材料ガス検知器 XP-703D ¥ 130,410（税込） ※納期ご確認ください

半導体材料ガス検知器 XP-703Dの特長

  • 微量の半導体材料ガス アルシン、ホスフィン、ジボ­ラン、シラン、水素を超高感度で検知
  • ガス濃度の変化により、警報­音（断続音）のスピードが徐々に変化し高濃度になる­と連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容­易。
  • 小型・軽量、優れた操作性、­しかも自動吸引式
  • 検漏液（石鹸など）よりもは­るかに高感度、操作は簡単
  • もれの確認は、ランプ・ブザー方式
  • 光源電圧低下をBATT.ランプの消灯により自動­表示
  • ハイブリッドICの採用で信頼性アップ
  • ブザースイッチ、イヤホン、­ジャックを標準装備（イヤホンは別売り）
  • 本質安全防爆構造対応

半導体材料ガス検知器 XP-703Dの用途

  • 半導体工場では、低濃度で人­体へ影響が出るシラン、アルシン等の毒性ガスが材料­ガスとして使われています。
  • そのため、これらの毒性ガス­が万が一漏洩した場合、低濃度で検知できるガスセン­サを搭載したガス検知警報器やガス検知器が必要とさ­れています。

半導体材料ガス検知器 XP-703Dの仕様

型式 XP-703D
検知対象ガス 半導体材料ガス（アルシン、­ホスフィン、ジボラン、シランなど）
ガス採気方式 自動吸引式
検知原理 熱線型半導体式
  アルシン ホスフィン ジボラン シラン 水 素
検知可能漏洩量 1.0×10−7
Pa•m3/s		 1.5×10−7
Pa•m3/s		 0.5×10−7
Pa•m3/s		 2.5×10−7
Pa•m3/s		 5×10−7
Pa•m3/s
検知可能濃度 0.2 ppm 0.3 ppm 0.1 ppm 0.5 ppm 1.0 ppm
応答時間 10秒
表示方式 ブザー音の断続およびランプの点滅
電源※1 単3形マンガン乾電池4本
連続使用時間 アルカリ乾電池使用時：約9時間
マンガン乾電池使用時：約3時間
使用温度範囲 0℃～40℃
外形寸法 W68×H155×D32mm
重量 約400g
標準付属品 レザーケース、ドレンフィル­タ、フィルタエレメント、点検ガス、
標準アタッチメント、単3形­マンガン乾電池4本
オプション Ni-Cd電池専用充電器、イヤホン
  • ※1 アルカリ電池、Ni-Cd電池も使用可能。

半導体材料ガス検知器 XP-703Dのメンテ

  • 1年に一度は点検をお勧めし­ます。基本点検料 13,800円（税込14,490円）
  • センサーは、3～5年もちます
  • ISO対策の3点セット（校­正証明書・試験成績書・トレサビリティ）の発行が可­能です（有償）

ホームページ掲載上の商品は改良のため、その仕様、デザインを予告なく変更する場合があります。

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